中国电子特气行业市场调查及投资潜力预测报告2022-2028年

中国电子特气行业市场调查及投资潜力预测报告2022-2028年

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【全新修订】：2022年12月

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章　电子特气行业概述

1.1　电子特气相关界定

1.1.1　电子特气的含义

1.1.2　电子特气的分类

1.1.3　电子特气的纯度

1.2　电子特气工艺分类

1.2.1　化学气相沉积工艺

1.2.2　光刻工艺

1.2.3　刻蚀工艺

1.2.4　掺杂工艺

1.3　电子特气工艺流程

1.3.1　气体纯化

1.3.2　气体合成

1.3.3　空气分离

1.3.4　气体充装

1.3.5　气体混配

1.3.6　气体检测

1.3.7　气瓶处理

二章　2017-2022年电子特气行业发展综况

2.1　2017-2022年电子特气发展现状

2.1.1　市场发展规模

2.1.2　市场份额分布

2.1.3　企业竞争格局

2.1.4　企业营收情况

2.1.5　产业链条布局

2.1.6　应用领域分布

2.1.7　产品技术分析

2.2　2017-2022年美国电子特气发展分析

2.2.1　市场相关政策

2.2.2　市场主体介绍

2.2.3　企业布局动态

2.2.4　市场发展困境

2.3　2017-2022年日本电子特气发展分析

2.3.1　市场发展现状

2.3.2　市场需求分析

2.3.3　市场主体介绍

2.3.4　企业营收情况

2.3.5　企业布局动态

2.3.6　出口管制施行

2.4　电子特气企业发展路径及经验借鉴

2.4.1　设备制造+气体服务齐头并进

2.4.2　通过收购快速开拓国际市场

2.4.3　通过技术创新丰富产品结构

三章　2017-2022年中国电子特气行业发展环境

3.1　经济环境

3.1.1　宏观经济概况

3.1.2　工业运行情况

3.1.3　固定资产投资

3.1.4　宏观经济展望

3.2　政策环境

3.2.1　行业主管部门

3.2.2　行业相关政策

3.2.3　行业支持政策

3.2.4　行业标准汇总

3.2.5　细分品类标准

3.2.6　区域政策动态

3.3　行业环境

3.3.1　工业气体基本概述

3.3.2　工业气体发展特点

3.3.3　工业气体市场规模

3.3.4　工业气体区域竞争

3.3.5　工业气体竞争梯队

3.3.6　工业气体企业份额

3.3.7　工业气体产品布局

3.3.8　工业气体发展趋势

四章　2017-2022年中国电子特气行业运行状况

4.1　中国电子特气行业产业链分析

4.1.1　产业链条分析

4.1.2　上游供应情况

4.1.3　下游应用结构

4.1.4　产业链企业布局

4.2　2017-2022年中国电子特气市场发展状况

4.2.1　行业发展历程

4.2.2　市场发展地位

4.2.3　市场发展态势

4.2.4　市场发展规模

4.2.5　市场供应模式

4.2.6　波特五力模型

4.3　2017-2022年中国电子特气企业竞争情况

4.3.1　企业竞争优势

4.3.2　企业竞争格局

4.3.3　主要企业介绍

4.3.4　企业产品布局

4.3.5　企业营收情况

4.3.6　市场地位对比

4.4　中国电子特气行业技术发展状况分析

4.4.1　电子特气行业技术发展需求

4.4.2　电子特气行业技术发展意义

4.4.3　典型电子特气企业研发成果

4.4.4　高纯含氟电子气体国产化成功

4.4.5　高纯氮气“卡脖子”技术取得突破

4.5　中国电子特气行业发展问题及建议

4.5.1　行业起步较晚

4.5.2　行业竞争加剧

4.5.3　国际贸易摩擦

4.5.4　技术存在短板

4.5.5　行业发展建议

五章　2017-2022年中国电子特气细分市场发展分析

5.1　清洗、蚀刻工艺特气

5.1.1　三氟化氮（NF3）

5.1.2　四氟化碳（CF4）

5.1.3　六氟化硫（SF6）

5.1.4　六氟乙烷（C2F6）

5.1.5　八氟丙烷（C3F8）

5.1.6　八氟环丁烷（C4F8）

5.2　氧化/沉积工艺特气

5.2.1　六氟化钨（WF6）

5.2.2　氧化亚氮（N2O）

5.2.3　氨气（NH3）

5.2.4　硅烷（SiH4）

5.2.5　锗烷（GeH4）

5.3　氧化/沉积、离子注入、外延工艺特气

5.3.1　磷烷（PH3）

5.3.2　砷烷（AsH3）

5.3.3　乙硼烷（B2H6）

5.4　其他电子特气

5.4.1　六氟丁二烯（C4F6）

5.4.2　羰基硫（COS）

5.4.3　三氟化硼（BF3）

5.4.4　硒化氢（SeH2）

六章　2017-2022年中国电子特气行业下游应用领域分析

6.1　半导体行业

6.1.1　半导体行业发展综述

6.1.2　半导体材料国产化

6.1.3　电子特气制程介绍

6.1.4　电子特气应用情况

6.1.5　电子特气应用规模

6.1.6　电子特气应用需求

6.1.7　电子特气应用前景

6.2　LED行业

6.2.1　LED行业发展综述

6.2.2　电子特气应用情况

6.2.3　电子特气应用前景

6.3　LCD行业

6.3.1　LCD行业发展综述

6.3.2　电子特气制程介绍

6.3.3　电子特气应用现状

6.3.4　电子特气具体应用

6.3.5　电子特气应用前景

6.4　太阳能电池行业

6.4.1　太阳能电池发展概述

6.4.2　电子特气制程介绍

6.4.3　电子特气应用情况

6.4.4　电子特气应用规模

七章　2017-2022年国外电子特气行业企业经营情况

7.1　美国空气化工产品

7.1.1　企业发展概况

7.1.2　企业业务介绍

7.1.3　企业产品布局

7.1.4　企业技术创新

7.1.5　2022年企业经营状况分析

7.1.6　2020年企业经营状况分析

7.1.7　2021年企业经营状况分析

7.2　林德集团

7.2.1　企业发展历程

7.2.2　企业业务介绍

7.2.3　企业产品布局

7.2.4　企业技术创新

7.2.5　2022年企业经营状况分析

7.2.6　2020年企业经营状况分析

7.2.7　2021年企业经营状况分析

7.3　法国液空集团

7.3.1　企业发展历程

7.3.2　企业业务介绍

7.3.3　企业产品布局

7.3.4　工业网路组织

7.3.5　企业发展战略

7.3.6　2022年企业经营状况分析

7.3.7　2020年企业经营状况分析

7.3.8　2021年企业经营状况分析

7.4　日本酸素公司

7.4.1　企业发展概况

7.4.2　企业功能扩展

7.4.3　企业基础技术

7.4.4　企业销售情况

7.4.5　2022年企业经营状况分析

7.4.6　2020年企业经营状况分析

7.4.7　2021年企业经营状况分析

7.5　日本昭和电工株式会社

7.5.1　企业发展概况

7.5.2　企业业务介绍

7.5.3　企业产品布局

7.5.4　企业项目动态

7.5.5　2022年企业经营状况分析

7.5.6　2020年企业经营状况分析

7.5.7　2021年企业经营状况分析

7.6　其他企业

7.6.1　太阳日酸

7.6.2　关东电化

7.6.3　艾迪科

八章　2017-2022年中国电子特气行业企业经营情况

8.1　广东华特气体股份有限公司

8.1.1　企业发展概况

8.1.2　企业发展历程

8.1.3　企业经营现状

8.1.4　特气营收情况

8.1.5　企业业务模式

8.1.6　企业业务布局

8.1.7　企业技术发展

8.1.8　企业项目布局

8.2　苏州金宏气体股份有限公司

8.2.1　企业发展概况

8.2.2　企业发展历程

8.2.3　企业工艺介绍

8.2.4　企业经营现状

8.2.5　特气营收情况

8.2.6　企业产能规模

8.2.7　企业产品布局

8.2.8　企业技术发展

8.3　江苏雅克科技股份有限公司

8.3.1　企业发展概况

8.3.2　企业发展历程

8.3.3　企业经营现状

8.3.4　电子特气营收

8.3.5　企业产品布局

8.3.6　细分产品介绍

8.3.7　企业项目动态

8.4　江苏南大光电材料股份有限公司

8.4.1　企业发展概况

8.4.2　企业发展历程

8.4.3　企业经营现状

8.4.4　特气营收情况

8.4.5　特气布局分析

8.4.6　企业产品布局

8.4.7　企业研发投入

8.5　昊华化工科技集团股份有限公司

8.5.1　企业发展概况

8.5.2　企业发展历程

8.5.3　企业经营现状

8.5.4　特气营收情况

8.5.5　企业产能规模

8.5.6　企业产品布局

8.5.7　企业研发投入

8.6　湖南凯美特气体股份有限公司

8.6.1　企业发展概况

8.6.2　企业发展历程

8.6.3　企业竞争优势

8.6.4　企业经营现状

8.6.5　气体营收分布

8.6.6　产品销售情况

8.6.7　特气布局分析

8.6.8　企业产品布局

8.6.9　企业研发投入

8.6.10　企业项目动态

8.7　湖北和远气体股份有限公司

8.7.1　企业发展概况

8.7.2　企业经营现状

8.7.3　电子特气营收

8.7.4　电子特气供应

8.7.5　企业研发投入

8.7.6　企业项目动态

8.8　其他企业

8.8.1　杭氧股份

8.8.2　巨化股份

8.8.3　正帆科技

8.8.4　派瑞特气

8.8.5　博纯材料

8.8.6　绿菱公司

8.8.7　硅烷科技

8.8.8　同辉气体

8.8.9　太和气体

九章　2017-2022年中国电子特气行业投资分析

9.1　2017-2022年中国电子特气行业投融资状况

9.1.1　行业投资现状

9.1.2　企业融资动态

9.1.3　企业战略合作

9.1.4　项目投资布局

9.1.5　行业投资机遇

9.2　中国电子特气行业投资进入壁垒

9.2.1　技术壁垒

9.2.2　客户壁垒

9.2.3　服务壁垒

9.2.4　资金壁垒

9.2.5　资质壁垒

9.3　中国电子特气行业投资风险及策略

9.3.1　行业投资风险

9.3.2　行业投资策略

9.3.3　项目投资建议

十章　中国电子特气行业典型项目投资建设深度解析

10.1　雅克科技半导体用电子级四氟化碳生产线技改项目

10.1.1　项目基本情况

10.1.2　项目投资价值

10.1.3　项目投资优势

10.1.4　项目实施主体

10.1.5　项目建设周期

10.1.6　项目投资概算

10.1.7　项目经济效益

10.2　南大光电三氟化氮生产装置项目

10.2.1　项目基本情况

10.2.2　项目投资内容

10.2.3　项目投资价值

10.2.4　项目建设周期

10.2.5　项目投资概算

10.2.6　产能消化空间

10.2.7　项目经济效益

10.2.8　项目备案进展

10.3　正帆科技气体扩产项目

10.3.1　项目基本情况

10.3.2　项目投资可行性

10.3.3　项目建设主体

10.3.4　项目建设周期

10.3.5　项目投资概算

10.3.6　项目环保措施

10.4　金宏气体集成电路用高纯气体项目

10.4.1　项目基本情况

10.4.2　项目投资背景

10.4.3　项目建设方案

10.4.4　主要设备配置

10.4.5　项目物料及能源供应

10.4.6　项目环境影响及设施

10.4.7　项目组织方式和实施进展

10.4.8　项目投资概算及财务评价

十一章　2022-2028年中国电子特气行业发展趋势及前景预测

11.1　中国电子特气行业未来发展趋势

11.1.1　行业发展机遇

11.1.2　行业发展趋势

11.1.3　国产替代趋势

11.2　鸿晟信合对2022-2028年中国电子特气行业预测分析

11.2.1　2022-2028年中国电子特气行业影响因素分析

11.2.2　2022-2028年中国电子特气市场规模预测

图表目录

图表　不同线宽下对应特气所含颗粒杂质要求

图表　三种分离方法比较

图表　化学气相沉积工艺中电子气体的使用流程

图表　光刻工艺中电子气体的使用流程

图表　刻蚀工艺中电子气体的使用流程

图表　刻蚀机中辉光放电原理

图表　离子注入工艺流程

图表　离子注入机之磁分析器结构简图

图表　离子注入机设备结构简图

图表　电子气体纯度要求

图表　气体纯化工艺流程图

图表　气体合成工艺流程图（以高纯氢为例）

图表　空气分离工艺流程图资

图表　气体充装工艺流程图

图表　气体混配工艺流程图

图表　气体检验工艺流程图

图表　气瓶处理工艺流程图

图表　电子气体市场规模

图表　2022电子气体细分市场格局

图表　2022年电子特气市场格局

图表　电子特种气体企业

图表　2022年各公司特气业务营收

图表　海外电子气体产业链

图表　2022年电子特气行业下游应用结构

图表　海外电子特气厂商产品技术情况

图表　日本主要电子特气需求量及增速

图表　工业气体龙头的发展路径

图表　林德集团的收购事件

图表　空气化工的技术、产品和市场

图表　2015-2022年国内生产总值及其增长速度

图表　2015-2022年三次产业增加值占国内生产总值比重

图表　2015-2022年万元国内生产总值能耗降低率

图表　2016-2022年国内生产总值及其增长速度

图表　2016-2022年三次产业增加值占国内生产总值比重

图表　2022年GDP初步核算数据

图表　2022年各月累计营业收入与利润总额同比增速

图表　2022年规模以上工业企业主要财务指标（分行业）

图表　2016-2022年全部工业增加值及增长速度

图表　2022年主要工业产品产量及其增长速度

图表　2017-2022年规模以上工业增加值同比增长速度

图表　2022年规模以上工业生产主要数据

图表　2022年中国固定资产投资（不含农户）同比增速

图表　2022年中国固定资产投资（不含农户）主要数据

图表　2022年三次产业投资占固定资产投资（不含农户）比重

图表　2022年分行业固定资产投资（不含农户）增长速度

图表　2017-2022年我国固定资产投资（不含农户）同比增速

图表　2022年固定资产投资（不含农户）主要数据

图表　电子特气行业主管部门

图表　2009-2022年电子特气行业的相关国家政策

图表　2017-2022年中国新材料目录-特种气体入选数量

图表　《新材料首批次应用示范指导目录（2019年版）》-电子特气入选目录明细

图表　2005-2022年电子特种气体国际标准

图表　2008-2022年电子特种气体国家标准

图表　现行有效制冷剂标准（含氟气体相关）现行有效制冷剂标准（含氟气体相关）

图表　现行有效制冷剂标准（含氟气体相关）

图表　现行有效六氟化硫相关标准（除设备类标准）

图表　现行有效其他含氟气体标准

图表　工业气体的用途

图表　中国工业气体行业的周期性和区域性

图表　2014-2022年中国工业气体市场规模

图表　中国工业气体行业企业按区域分布情况

图表　2022年中国工业气体行业竞争梯队（按相关营收划分）

图表　2022年国内工业气体行业主要企业市场占比

图表　2022年中国气体行业品牌

图表　电子特气产业链

图表　电子气体行业上游原材料和设备情况

图表　2022年中国电子特气应用市场结构

图表　电子特气行业产业链企业图谱

图表　电子特气行业发展历程

图表　电子特气是气体行业的重要分支

图表　2013-2022年中国电子特种气体市场规模及增速

图表　电子气体行业供气经营业务模式特点

图表　电子气体行业供应模式与要点

图表　TGCM一站式服务模式

图表　电子气体行业五力模型

图表　林德集团在我国工厂分布较为分散

图表　林德集团向我国供应原材料耗时较长

图表　2022年我国电子特气市场格局

图表　国内主要电子气体公司产品

图表　八大国内电子气体供应商对比

图表　八大国内电子气体供应商对比（续）

图表　2022年国内外主要电子气公司业绩表

图表　2017-2022年NF3市场需求

图表　2015-2022年国内NF3市场需求

图表　三氟化氮主要公司产能

图表　国内四氟化碳需求

图表　四氟化碳主要公司产能

图表　六氟化硫主要公司产能

图表　六氟乙烷主要公司产能

图表　八氟丙烷主要公司产能

图表　八氟环丁烷主要公司产能

图表　2014-2022年六氟化钨市场消费量

图表　六氟化钨主要公司产能

图表　氧化亚氮主要公司产能

图表　高纯氨器主要公司产能

图表　硅烷主要公司产能

图表　锗烷主要公司产能

图表　磷烷主要公司产能

图表　砷烷主要公司产能

图表　乙硼烷主要公司产能

图表　六氟丁二烯主要公司产能

图表　羰基硫主要公司产能

图表　三氟化硼主要公司产能

图表　硒化氢主要公司产能

图表　2000-2022年半导体市场规模及增速

图表　2015-2022年中国集成电路市场规模及增速

图表　2010-2022年半导体兼并和收购案金额

图表　半导体材料国产化情况

图表　集成电路制造工艺流程

图表　常见的气相沉积气体

图表　常见的刻蚀气体

图表　常见的掺杂气体

图表　2020-2025年特种电子气体芯片用市场规模

图表　2009-2022年逻辑芯片和存储芯片销售额占集成电路比例较高

图表　半导体晶圆制造各环节用到的特种气体用途及用量

图表　半导体晶圆制造各环节用到的特种气体用途及用量（续）

图表　2015-2022年晶圆产能转移

图表　我国主要晶圆厂商在建产能情况

图表　2016-2022年中国LED照明行业市场规模渗透率

图表　LED生产流程

图表　LED生产外延片制造和芯片制程

图表　面板产业发展简史

图表　中国面板产业发展历程

图表　1999-2022年LCD产能区域结构分布情况

图表　TFT-LCD制造流程

图表　TFT干刻气体选择

图表　显示面板快速迭代将推升下游电子特气需求

图表　太阳能电池的分类

图表　太阳能电池制程介绍

图表　2017-2022年中国太阳能电池产量

图表　空气化工发展历程

图表　空气化工电子领域业务概况

图表　美国空气化工产品气体种类及应用领域

图表　空气化工创新性技术

图表　2017-2019年美国空气化工产品有限公司综合收益表

图表　2017-2019年美国空气化工产品有限公司分部资料

图表　2017-2019年美国空气化工产品有限公司收入分地区资料

图表　2019-2021年美国空气化工产品有限公司综合收益表

图表　2019-2021年美国空气化工产品有限公司分部资料

图表　2019-2021年美国空气化工产品有限公司收入分地区资料

图表　2021-2022年美国空气化工产品有限公司综合收益表

图表　2021-2022年美国空气化工产品有限公司分部资料

图表　2021-2022年美国空气化工产品有限公司收入分地区资料

图表　林德集团发展历程

图表　林德集团电子领域产品概况

图表　林德集团气体种类及应用领域

图表　林德集团四大突破性技术

图表　2017-2019年林德集团综合收益表

图表　2017-2019年林德集团分部资料

图表　2017-2019年林德集团收入分地区资料

图表　2019-2021年林德集团综合收益表

图表　2019-2021年林德集团分部资料

图表　2019-2021年林德集团收入分地区资料

图表　2021-2022年林德集团综合收益表

图表　2021-2022年林德集团分部资料

图表　2021-2022年林德集团收入分地区资料

图表　液化空气发展历程

图表　液化空气电子领域业务概况

图表　法国液空电子材料种类及应用领域

图表　液化空气的工业网络组织

图表　液化空气四大战略支柱

图表　2017-2019年法国液空集团综合收益表

图表　2017-2019年法国液空集团分部资料

图表　2017-2019年法国液空集团收入分地区资料

图表　2019-2021年法国液空集团综合收益表

图表　2019-2021年法国液空集团分部资料

图表　2019-2021年法国液空集团收入分地区资料

图表　2021-2022年法国液空集团综合收益表

图表　2021-2022年法国液空集团分部资料

图表　2021-2022年法国液空集团收入分地区资料

图表　日本酸素业务概况

图表　日本酸素三大业务领域和五大业务板块

图表　日本酸素扩展五大功能

图表　日本酸素以空分气体为中心的工业气体业务流程

图表　日本酸素的化销售网络

图表　2017-2019年日本酸素公司综合收益表

图表　2017-2019年日本酸素公司分部资料

图表　2017-2019年日本酸素公司收入分地区资料

图表　2019-2021年日本酸素公司综合收益表

图表　2019-2021年日本酸素公司分部资料

图表　2019-2021年日本酸素公司收入分地区资料

图表　2021-2022年日本酸素公司综合收益表

图表　2021-2022年日本酸素公司分部资料

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